تصميم منضومة الاضاءة في المجهر الالكتروني الماسح ذو الانبعاث المجالي

المؤلفون

الملخص

يهدف هذا العمل الى دراسة تصميم منظومة الاضاءة في المجهر الالكتروني الماسح ذو الانبعاث المجالي . يتالف العمود البصري للمجهر الالكتروني الماسح من منظومة الاضاءة التي تنبعث خلالها الالكترونات لتشكل حزمة مبئرة تسقط على سطح العينة ثم تنعكس تلك الالكترونات من سطح العينة لتشكل الصورة . يتالف العمود البصري بصورة اساسية من قاذف الانبعاث المجالي كمصدر للحزمة , منظومة العدسات , وحدة السيطرة علي الالكترونات , وحدة التفريغ. يستعمل تحليل العناصر المحددة في تصميم مكونات المجهر الالكتروني الماسح للحصول على تصميم مثالي , خلال التحليل خصائص مسار الحزمة المنبعثة متوقع من خلال التصميم التخطيطي لمنظومة الاضاءة الالكترونية

الكلمات الرئيسة

مجلة كركوك للعلوم Kirkuk Journal of Science
السنة 12، العدد 4
كانون الأوّل / ديسمبر 2017
الصفحة 287-296

ملفات

تاریخ المقال

  • تاريخ الاستلام: 01 كانون الأوّل / ديسمبر 2017
  • تاريخ التعديل: 20 كانون الأوّل / ديسمبر 2017
  • تاريخ القبول: 25 كانون الأوّل / ديسمبر 2017

شارك

الإحالة إلى هذه المقالة

الإحصائيات