التركيب النانوي والخواص الضوئية لطبقة السيلكون المسامي

المؤلفون

الملخص

في هذا البحث تم تحضير التركيب النانوي لطبقات السليكون المسامي بواسطة تقنية التنميش الكهروكيميائي لرقاقة السليكون نوع (P) (111) ,مع محلول الكتروليتي مكون من حامض الهيدروفلوريد(HF) وكحول الايثانول بتركيز (2:1) بقيم مختلفة للتيار وبزمن تنميش (20) دقيقة . تم استقصاء طوبوغرافية التركيب والخواص الضوئية للسليكون المسامي ذو التركيب النانوي بواسطة فحص مجهر القوة الذرية (AFM) ,حيود الاشعة السينية (XRD) والاستضائة (PL) على التوالي, وجد من خلال صورة مجهر القوة الذرية ان طبقة السليكون المسامي اسفنجية وان معدل قطر وسمك المسام لطبقة السليكون المسامي يزداد مع زيادة التيار .دلت قياسات حيود الاشعة السينية على ان حجم البلورة يقل باتجاه تدريج النانو ومن ثم اتساع قمة الحيود (111) .حزمة الطاقة للعينات تقاس من خلال مقياس الاستضائة .

الكلمات الرئيسة