دراسة تاثير تركيز Zr على خصائص الكواشف Pb(Zrx,Ti1-x)O3 /n-Si and Pb(Zrx,Ti1-x)O3 /n-PS المحضر بطريقة الترسيب بالليزر النبضي.

المؤلفون

الملخص

حضر مسحوق (PZT) Pb(Zrx,Ti1-x)O3 بطريقة تفاعل الحالة الصلبة ورسب على السيلكونPb(Zrx,Ti1-x)O3/n-Si وعلى السيلكون المساميPb(Zrx,Ti1-x)O3/n-PS ذو الاتجاه(111) ومقاومية(0.015 Ω.cm) بتقنية الترسيب بالليزر النبضي. استخدمنا خلية التنميش الكهروكيميائي البصري لعمل طبقات مسامية على سطح السيلكون باسخدام منظومة التبخير الكيميائي. تم ترسيب الالمنيوم على الجهة الخلفية للسيلكون لعمل الاقطاب بطريقة الاتصال الاومي. القياسات الطيفية ( الاستجابية، الكفاءة الكمية، الكشفية، الضوضاء المكافئة للقدرة) للغشاء Pb(Zrx,Ti1-x)O3 المحضر على السيلكون وعلى السيلكون المسامي تظهر قيم ( 1.2482 ، 0.4422% ، 2.207×1010 و0.45×10-10 ) و ( 1.5695 ، 0.5561% ، 2.618×1010 و ( 0.36×10-10على الترتيب. افضل نسبة للزركونيوم هي 0.5 لجميع العينات. القياسات الطيفية للاجهزة تظهر سلوكا مستقرا لجميع العينات بعد عملية التنميش وقيم معاملات الكواشف المحضرة على السيلكون المسامي اكبر من قيم معاملات الكواشف المحضرة على السيلكون.

الكلمات الرئيسة

مجلة كركوك للعلوم Kirkuk Journal of Science
السنة 12، العدد 2
حزيران / يونيو 2017
الصفحة 235-254

ملفات

تاریخ المقال

  • تاريخ الاستلام: 01 حزيران / يونيو 2017
  • تاريخ التعديل: 20 حزيران / يونيو 2017
  • تاريخ القبول: 25 حزيران / يونيو 2017

شارك

الإحالة إلى هذه المقالة

الإحصائيات